ميكروسكوپ الكتروني محيطي نيز مانند تمامي انواع ميكروسكوپهاي الكتروني داراي يك منطقه خلأ براي توليد و متمرکز کردن پرتو الكتروني ميباشد كه هميشه در فشار كمتر از 10-9pa قرار دارد. بهعلاوه يك منطقه با فشار بالا (بيش از 60kpa) مورد نياز است كه البته اين دو ناحيه بايد به نحو مطلوب و توسط يك تكنيك ويژه از يكديگر مجزا گردند.
اين كار يا توسط فيلمهاي پنجره عبور الكترون و يا توسط دريچههاي كوچك محدودكننده گاز فشار انجام ميپذيرد. در ESEM به دليل بهرهگيري از ولتاژهاي شتابدهنده بسيار پايينتر، فقط دريچه هاي محدودكننده به كار گرفته ميشود.
اين كار يا توسط فيلمهاي پنجره عبور الكترون و يا توسط دريچههاي كوچك محدودكننده گاز فشار انجام ميپذيرد. در ESEM به دليل بهرهگيري از ولتاژهاي شتابدهنده بسيار پايينتر، فقط دريچه هاي محدودكننده به كار گرفته ميشود.
هیچ نظری موجود نیست:
ارسال یک نظر